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추천상품

인라인 3차원측정기

전자현미경

품번 : SNE-3000MS
  • 상표
    국내메이커
  • 규격
    보급형 SEM
  • 납기일
    별도문의
  • 가격
    별도문의
  • 수량
 
sec 전자현미경 Scanning Electron Microscopy
SEM 시리즈



What is Tabletop-SEM?



SNE-4500M Plus

  • 사용자 중심의 기능을 탑재한 SNE-4500M Plus 모델은 Tabletop-SEM 모델 중 가장 높은 성능과 편의 기능을 탑재하였습니다.
  • 모든 이동 축에 자동화된 모터를 장착하여 위치 이동을 신속하게 할 수 있으며, Top-View CCD 카메라를 장착하여 분석하고자 하는 위치를 손쉽게 찾아갈 수 있습니다.
  • 최대 15만 배의 고 배율 영상 획득이 가능하며, 폭넓은 스테이지 구성으로 표 / 단면 분석에 최적화되었습니다.
  • A Type : SE Detector 및 고 진공 전용 Model
  • B Type : A Type & BSE Detector 및 저 진공 모드 탑재 Model


SNE-4500M

고 분해능 SEM

  • Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써 최대 10만 배까지의 영상을 관찰할 수 있는 고 분해능 SEM입니다.
  • Variable Aperture(30, 50, 50, 100㎛) 장착으로 미세입자 구조 분석에 수준 높은 영상 획득이 가능하며, 5개의(X, Y, R, Z, T) 이동 축을 탑재함에 따라 샘플의 따라 샘플의 전방위 분석에 최적화되었습니다.


SNE-3200M

고급형 SEM

  • SEM 이미지 분석을 위한 SE / BSE Detector가 기본으로 탑재되어있어, 샘플의 특성을 고려한 분석을 다양화할 수 있습니다.
  • 또한 High / Low Vacuum Mode가 지원되어 저 진공 모드에서는 부도체 시료의 금속 코팅 없이 시료 분석이 가능합니다.
    (Charge-up Reduction Mode 지원)


SNE-3000MS

보급형 SEM

  • 최적의 사양과 실용적인 가격대를 지닌 모델로써, 기본 기능에 충실하고 손쉬운 영상 분석이 가능합니다.
  • 시료 교체 후 영상 획득까지 3분 이내로 신속한 시료 분석을 할 수 있습니다.
  • 또한 EDS 장착이 가능하며, 성분 분석이 중요한 목적으로는 합리적인 가격대로 SEM + EDS 제품을 구비할 수 있습니다.


주요기능

Tilting -45 to 90º degree

 
Navigation Camera mode Stage Control Mode Recipe Function

Sample Images Snap Shot :

이미지 저장 가능, Rotation시 이미지 회전, 명암 & 밝기 보정 가능
X, Y, R, Z, T - 5-axis Moving, Motor Speed Control, Home 이동, 충돌 방지 Limit 기능 탑재 위치기억기능(6 Step), 저장된 위치를 불러와서 재분석 가능, SEM의 분석 조건을 저장하여 동일한 환경에서 분석 가능


SEM UI



선택적인 가속 전압 구성

1 ~ 30㎸ 가속 전압 구성으로 샘플 조건에 맞는 다양한 영상 획득이 가능합니다. (1/ 5/ 10/ 15/ 20/ 30㎸)



부가 기능



 
 

사양

 
Model SNE-4500M Plus SNE-4500M SNE-3000MS SNE-3200M
Resolution 5㎚ 15㎚
Magnification 150,000x 100,000x 60,000x
Detector A TYPE : SE
B TYPE : SE/BSE
SE SE/BSE
Vacuum A TYPE : High
B TYPE : High/Low
High High/Low
Stage X, Y, R, Z, T : Fully Motorized X, Y, R, Z, T : Manual X, Y, R : Manual
Stage Traverse X, Y : 40mm    /    Z : 0 ~ 40mm
R : 360º    /   T : -45 ~ 90º
X, Y : 40mm
R : 360º    T : 0 ~ 45º
Z : 0 ~ 35mm
X, Y : 35mm    R : 360º
Max. Sample Size 80mm(D) / 50mm(H) 80mm(D) / 35mm(H) 70mm(D) / 30mm(H)
CCD Camera Top-View CCD Camera - -
O.L Aperture Type 30, 50, 50, 100㎛(Variable Type) 200㎛(Single)
Electron Beam Source Pre-centered Tungsten Filament Cartridge
Acceleration Voltage 1㎸ ~ 30㎸ (1/ 5/ 10/ 15/ 20/ 30) - 6 Step
Display Mode 320 x 240 / 640 x 480 / 1,280 x 960 / 2,560 x 1,920 / 5,120 x 3,840
Automation Function Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness
Image Format BMP, JPEG, PNG, TIFF
Vacuum Pump Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System)
 

SEM Application & Image

Semiconductor & Electronics



Energy & Chemistry



Materials



Automotive & Metals



Medical & Health



BIO



 

COMPARISON (SE / BSE Image)

이차전자 (SE : Secondary Electron) 후방산란전자 (BSE : Back Scattered Electron)
요철에 의한 정보로 시료 표면의 정보를 섬세하게 확인할 수 있습니다. 물질(조성)의 차이에 따른 이미지를 얻을 수 있습니다.

Smartphone Metal Case



Ceramic



Metal Alloy



 

High Resolution Performance

SEC에서 생산하는 모델은 최대 15만 배까지 영상 관찰이 가능합니다.
Tabletop-SEM 제품 중에서도 높은 수준의 고 분해능 이미지 분석을 할 수 있으며 가속 전압을 다변화하여 샘플 특성을 고려한 최적의 정보를 얻을 수 있습니다.


Lanthanum Powder



Ceramic



Carbon Nano Tube



TiO2



Battery



Emulsion



 
 

EDS

EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)는 SEM에 부착되어 시료 표면의 성분을 분석하는 장비로써 전자현미경에서 방사된 입사 전자가 시료에 충돌하면서 발생되는 특성 X-ray를 검출하여 정성·정량 분석에 이용됩니다. 쎄크의 모든 SEM 모델에 EDS 디텍터를 장착할 수 있으며, 컴팩트한 디자인으로 설계된 소형 EDS는 일반적인 EDS와 동일한 성능과 분석 프로그램이 탑재되어 있습니다.


특징

  • LN2가 필요 없는 SDD 타입
  • 더욱 뛰어난 낮은 에너지 분해능으로 경원소 분석이 가능
  • 신뢰성 있는 wt%, at% 정량 분석 결과 제공
  • 빠르고 간편한 조작으로 유저 친화적인 프로그램 제공
  • 주요 기능 : 정성·정량 분석, Mapping Line Scan, Report 등


사양

Model X Flash Series Element
Brand
Detector Type Silicon Drift Detector (SDD) Ultra-thin Silicon Nitride (Si3N4) Window
Energy Resolution Mn ka ≤ 129 eV
Detector Active Area 30㎟ 25㎟
Detection Range Boron(5) ~ Americium(95)
X-ray Throughput > 150,000 cps > 100,000 cps


EDS Software

정성, 정량 분석 Line Scan Mapping

빠르고 정확한 정성, 정량 분석 결과를 제공하며 면, 점, 등 원하는 영역 등을 지정하는 다양한 방법으로 시료 표면의 성분 분석이 가능·중복된 Peak을 자동으로 분리하며, 신뢰성 있는 분석 결과 제공

분석을 하고자 하는 영역에 대하여 선을 그린 후 Line을 따라 관심 있는 영역에 대한 원소 차이를 Line Profile로 쉽게 비교 분석

각 원소의 분포도를 색상으로 구분하여 분석


Report

다양한 Report 형식 제공 및 원하는 형식으로 편집 가능


Element Weight Atomic % Net Int. Error %
O 1.54 5.66 68.23 11.83
Si 2.62 5.50 152.87 9.59
Cl 0.52 0.86 41.08 15.79
Ag 1.97 1.08 85.82 10.24
Fe 2.18 2.30 114.16 8.88
Ni 1.33 1.34 43.87 13.53
Cu 89.83 83.27 2061.44 2.20
 

OPTION

Ion Sputter Coater

시료에 금속(Au / Pt) 박막을 입혀 전도성을 부여해주는 전처리 장비입니다.
전도성이 증가된 시료 표면에 발생되는 2차 전자의 양을 증가시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있습니다. 비 전도성 샘플의 관찰을 위해서는 Ion Sputter Coater의 구비가 필요합니다.

Coating Target Au(골드) or Pt(백금)
MCM-100P : Quick Mode     / MCM-200 : Touch PAD - Advanced Mode



Motorized Stage

Manual(기본 사양) 스테이지에 Motor를 탑재하여 손쉬운 이동 기능 구현이 가능합니다.
조이스틱을 이용하여 위치를 이동할 수 있고, 프로그램에서 마우스 더블클릭하여 중심점으로 위치를 움직일 수 있습니다.

적용모델 : SNE-4500M / SNE-3200M / SNE-3000M



BSE Detector

BSE 디텍터를 추가 장착하여 Composition 및 Topography 영상을 획득할 수 있습니다.
샘플의 조성 정보를 알 수 있으며 3차원적인 이미지를 얻을 수 있습니다.

4-Channel Solid State Type : 4 segment Silicon Diode



Low Vacuum Mode

부도체 시료에 전처리 없이 Non-conductive Samples 분석이 가능합니다.

Charge-Up Reduction Mode (BSED + Low Vacuum)

 

치수

SEM Spec Overview

Example of Installation Layout



Control System
OS Microsoft Window® 7 or 10
CPU Intel® Core™
Memory / HDD 4GB / 500G
Interface Connector USB 2.0
Monitor 22 inch Wide


Dimensions and Weight
Main Unit 390(W) x 380(D) x 560(H), 88kg
Controller Unit 390(W) x 325(D) x 560(H), 30kg
Rotary Pump 400(W) x 160(D) x 340(H), 24kg


Installation Condition
온도 15 to 30℃
습도 80% 이하
전원 Single Phase AC 100 ~ 240V 1㎾, 50 / 60㎐
Dimensions and Weight
Tungsten Filament : Centered Cartridge Ass’y SET
Sample Stub(Holders) 15 / 25㎜, 45 / 90º Tilt
Carbon Tape
Blower
Storage BOX
Vacuum Grease
Pincette
Working Distance Jig
Wrench
Manual : Book, CD


기본 공급 품목
SEM Unit
Pump Unit(Rotary + Turbo)
PC(Desktop PC) Monitor
SEM Spare - parts
 
 
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